高分辨率面阵相机，搭配FA工业镜头，垂直安装在振膜正上方。光度环形无影光源，在镜头下方，光源的不同分区依次高速点亮，相机同步拍摄，捕获4幅不同光照方向下的图像，然后传给算法处理。

针对振膜凹凸类缺陷，光度立体相对高度图可过滤表面纹理、反光与色差干扰，样品的三维形貌可视化：凹陷呈黑色，凸起呈白色，缺陷边界清晰，无漏检误判。

针对划痕、脏污、异物三类缺陷，光度立体相对灰度融合图，通过算法计算出灰度阈值来区分缺陷类型：浅划痕与表面脏污呈现深色，凸起异物及深划痕呈现白色。

该检测方案以光度立体技术为核心，实现了振膜表面三维形貌与二维缺陷的同步精准识别。成像清晰，缺陷分类明确，为微型扬声器振膜的质量控制提供了可靠的技术保障。