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高精度同轴光源 COH

高分辨率成像
高亮度，照度是CO2系列的4倍以上
高反光工件检测时，可消除重影现象

应用领域：
高精度零器件缺陷检测
高精度尺寸测量
芯片表面缺陷检测
晶元尺寸测量及缺陷检测
精密医疗器材元器件脏污检测